新一代合成金剛石設(shè)備制造技術(shù)研究計(jì)劃完成
發(fā)布日期:2023-01-11
| 英格蘭 ASCOT 2008年5月21日電 由 Element Six Ltd 研究人員指導(dǎo)、并與斯特拉斯克萊德大學(xué) (University of Strathclyde) Institute of Photonics（光子學(xué)研究所，簡(jiǎn)稱 IoP）合作進(jìn)行的 Micromachined Diamond Device Initiative（微機(jī)械金剛石設(shè)備計(jì)劃，簡(jiǎn)稱 MIDDI）圓滿結(jié)束。MIDDI 部分資金由英國(guó)貿(mào)工部 (UK Department of Trade and Industry) 提供，旨在研發(fā)全球領(lǐng)先的金剛石微電子設(shè)備制造技術(shù)，讓歐洲公司比日本和美國(guó)公司更具競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。 MIDDI 主要專注于研發(fā)一個(gè)擁有先進(jìn)微納米制造技術(shù)的“工具箱”，該技術(shù)以合成單晶金剛石為基礎(chǔ)，可用于新一代高頻、高功率電子設(shè)備的開發(fā)。Element Six 在使用化學(xué)氣相沉積制造電子級(jí)合成金剛石領(lǐng)域處于世界領(lǐng)先地位。MIDDI 進(jìn)一步擴(kuò)大了這種領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。 斯特拉斯克萊德大學(xué) IoP 一直扮演提供等離子體刻蝕技術(shù)專長(zhǎng)的角色，該技術(shù)被用于界定設(shè)備制造所要求的精確表面特征。該研究所成立于1995年，已經(jīng)成為刻蝕材料方面的專業(yè)技術(shù)中心，刻蝕材料素來難以加工。材料領(lǐng)域的專長(zhǎng)促成了 IoP 在半導(dǎo)體光電子學(xué)、固態(tài)激光工程和生物光子學(xué)方面的成功。 IoP 副所長(zhǎng) Martin Dawson 教授評(píng)論說：“MIDDI 項(xiàng)目展示了英國(guó)大學(xué)是如何與工業(yè)領(lǐng)域合作并成功進(jìn)行技術(shù)研發(fā)的。Element Six 設(shè)計(jì)了項(xiàng)目的任務(wù)，為先進(jìn)的金剛石結(jié)構(gòu)提供了受控的摻雜特性；學(xué)校通過研發(fā)一種雙方共同擁有專利的創(chuàng)新型干刻蝕方法來完成任務(wù)。這真正打開了生產(chǎn)金剛石電子產(chǎn)品之門，同時(shí)也拓寬了一系列新技術(shù)（包括金剛石光子學(xué)）的更廣泛應(yīng)用，憑借 Element Six 的支持，斯特拉斯克萊德大學(xué)如今在該領(lǐng)域擁有非凡的影響力。” 三個(gè)領(lǐng)域的成就 該項(xiàng)目已在三個(gè)領(lǐng)域取得顯著成就，這將有助于 Element Six 為采用金剛石制造的主動(dòng)電子設(shè)備的開發(fā)提供支持。首先，擁有原子級(jí)低粗糙度表面的基片和外延層生產(chǎn)中所采用的合成和加工技術(shù)得到改善。制造高精度金剛石納米層的能力取決于一系列復(fù)雜的加工和合成步驟。對(duì)于一個(gè)高頻主動(dòng)電子設(shè)備來說，某些個(gè)別納米層要求厚度為幾納米。此外，這些納米層需要有原子級(jí)的平滑度和極度精確的雜質(zhì)分布。 其次，Element Six 現(xiàn)在能夠存放納米級(jí)厚度的摻硼金剛石薄層。依據(jù) delta MESFET 這樣的金剛石提出來的主動(dòng)交換設(shè)備概念使用這些夾在兩個(gè)未摻雜其他物質(zhì)的原金剛石層之間的薄層來支持晶體管作用。最終 MIDDI 得出了一種可再生的全面刻蝕技術(shù)，適用于晶體管設(shè)備制造。 Element Six 商業(yè)業(yè)務(wù)經(jīng)理 Christopher Ogilvie Thompson 指出：“這些成功的結(jié)果已經(jīng)為一家新的 Element Six 子公司的成立打下了基礎(chǔ)。Diamond Microwave Devices Ltd 致力于開發(fā)全球首個(gè)商業(yè)高頻、高功率金剛石晶體管。另外，MIDDI 開發(fā)出的技術(shù)也會(huì)有利于輻射探測(cè)器和微光學(xué)設(shè)備等先進(jìn)應(yīng)用所采用的其它金剛石技術(shù)。 Element Six 簡(jiǎn)介 Element Six 是全球領(lǐng)先的優(yōu)質(zhì)超硬磨料和先進(jìn)工程材料供應(yīng)商，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于制造業(yè)。該公司是各種工業(yè)應(yīng)用所采用的合成金剛石和新工程材料開發(fā)領(lǐng)域的先鋒，應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)、機(jī)械、熱能、電子、汽車、電信和媒體等行業(yè)。Element Six 的營(yíng)業(yè)額超過5億美元，擁有員工近4000名，在中國(guó)、德國(guó)、愛爾蘭、瑞典、南非、烏克蘭和英國(guó)設(shè)有生產(chǎn)和加工工廠，擁有全球分銷網(wǎng)絡(luò)的支持。 Institute of Photonics 簡(jiǎn)介 Institute of Photonics 成立于1995年，是一個(gè)以商業(yè)為中心的研究機(jī)構(gòu)，隸屬于斯特拉斯克萊德大學(xué)。其主要目標(biāo)是彌合學(xué)術(shù)研究與光子學(xué)行業(yè)應(yīng)用、開發(fā)之間的鴻溝。該機(jī)構(gòu)的研究興趣包括半導(dǎo)體材料和設(shè)備、實(shí)用全固態(tài)激光、微型 LED 陣列以及范圍廣泛的應(yīng)用，尤其在光子學(xué)領(lǐng)域。Institute of Photonics 總部位于斯特拉斯克萊德大學(xué)的格拉斯哥市中心校區(qū)。IoP 承接來自工業(yè)領(lǐng)域的合同，進(jìn)行合作研究，還提供咨詢服務(wù)。該機(jī)構(gòu)擁有人數(shù)眾多的哲學(xué)博士和工程學(xué)博士研究生，面向企業(yè)授權(quán)技術(shù)。
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